GEMÜ C53 iComLine

Das 2/2-Wege-Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine wurde für präzise und anspruchsvolle Regelanwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt. Das Dichtprinzip des Ventils beruht auf der bewährten GEMÜ PD-Technologie, wodurch Antrieb und Medium durch einen PTFE-Regelkegel getrennt werden. Da Regelkegelkontur, Antriebshub und Anschlussgrößen kundenspezifisch angepasst werden können, erfüllt der GEMÜ C53 iComLine nahezu alle Regel- und Durchflussanforderungen der Halbleiterindustrie. Der präzise Schrittmotor eignet sich in Verbindung mit den hochreinen Körperwerkstoffen insbesondere für Lithographie-, CMP-, und Ätzprozesse sowie analytische Anwendungen in einer Halbleiterfertigung.

• Regelventil für hochreine Anwendungen in der Halbleiterindustrie
• Hochauflösender Linearantrieb mit Schrittmotor
• Membransitzventil auf Basis der iComLine-Baureihe
• Bewährte Plug-Diaphragm-Technologie
• Alle medienberührten Teile sind aus PFA oder PTFE
• 1 Mio. qualifizierte Regelschaltzyklen
• Reinraumfertigung (HP Version), erfüllt SEMI F57

• Medientemperatur:10 bis 150 °C
• Umgebungstemperatur:0 bis 40 °C
• Betriebsdruck:0 bis 6 bar
• Anschlussgrößen:1/4'' bis 3/4''
• Körperformen:Durchgangskörper
• Anschlussarten:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
• Körperwerkstoffe:PFA | PTFE
• Dichtwerkstoff:PTFE
• Versorgungsspannung:24 V DC
• Eingangssignale:0 - 10 V | 4 - 20 mA
• Stellgeschwindigkeit:max. 2 mm/s
• Schutzart:IP65