Forsyningsanlæg til ultrarene kemikalier

Forsyningsanlæg til ultrarene kemikalier

Forsyningsanlæg til ultrarene kemikalier
Ved fremstilling af mikrochips til f.eks. computere skal der opfyldes maksimale renhedskrav i alle fremstillingsprocesser. Også de driftsmedier og transportbeholdere, der er nødvendige til produktionen, samt fordeleranlæggene i produktionsområderne skal opfylde disse krav. Det skyldes halvledernes særdeles miniaturiserede kredsløb. Derudover må der absolut ikke komme elektrisk ledende partikler som f.eks. metalioner på waferne, og disse partikler må heller ikke findes i omgivelserne. Hvis det sker, vil partiklerne kunne udfylde de små mellemrum mellem lederbanerne og medføre kortslutning. Derudover påvirker de halvledernes elektriske egenskaber og dermed deres funktion.
Andre applikationseksempler

Nyttigt til download

DE
pdf
122 KB
GB
pdf
121 KB