Componentes de acero inoxidable para aplicaciones en la industria de semiconductores

Válvulas de diafragma de acero inoxidable: la elección perfecta para el suministro de disolventes

En el proceso de fabricación de semiconductores se utilizan disolventes críticos y agresivos. Esto plantea grandes desafíos desde el punto de vista de la resistencia química y la protección frente a explosiones de los componentes de suministro de una instalación. Las válvulas de diafragma GEMÜ de acero inoxidable son idóneas para este tipo de aplicaciones con disolventes puros. Aquí le presentamos nuestra gama de productos.

Cuando la complejidad va en aumento, nosotros tenemos la solución

En lo que respecta a subconjuntos, GEMÜ es su socio de desarrollo.

Nuestra oferta abarca desde componentes individuales y la producción de configuraciones sencillas de soldadura y electrodo hasta subconjuntos y manifolds complejos.

¡Estaremos encantados de asesorarle sobre los diseños de válvulas adecuados para su aplicación!

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Componentes de acero inoxidable en la industria química y la fabricación de obleas para:

• H2SO4

• TMAH

• H3PO4

Componentes de acero inoxidable en el suministro de disolventes para:

• Isopropanol

• Aceton

• N-Methylpyroolidon (NMP)

Componentes de acero inoxidable en el nivel de proceso para:

• Litografía (capa fotorresistente)

➥ Ventajas de los componentes de acero inoxidable en el suministro de disolventes

Buena conductividad

Los disolventes utilizados tienen un punto de combustión bajo y se cargan electrostáticamente con mucha facilidad en las tuberías. Esto significa que las instalaciones de suministro de disolventes deben construirse y conectarse a tierra con materiales descargables. El acero inoxidable tiene una conductividad muy buena.

Buen acabado superficial

La rugosidad de la superficie de los componentes de la instalación utilizados influye en la cantidad de carga que adquiere el fluido. GEMÜ cuenta desde 2018 con un centro de tecnología de superficies, y desarrolla continuamente competencias en este ámbito. Para el suministro de disolventes se recomiendan rugosidades de Ra 0,25 a Ra 0,8 a fin de evitar cargas electrostáticas. Un buen acabado superficial redunda también en una mayor facilidad de limpieza.

Alta resistencia

Una de las ventajas del acero inoxidable es que es un material muy resistente. Esto significa que pueden utilizarse fluidos corrosivos sin contaminar el disolvente ni provocar fugas en la válvula. Nuestras válvulas de acero inoxidable son resistentes a todos los disolventes habituales, como:

• 2-propanol 99,8%
• Lactato de etilo
• Acetona
• NMP
• AZ400T
• NBA
• PGMEA

➥ Cuerpos de válvula y tipos de conexión

Tipos de conexiones especiales

Los tubos para soldar y las conexiones VCR se consideran conexiones estándares para componentes de acero inoxidable. Se utilizan diferentes conexiones dependiendo de si los componentes de la válvula deben ser fáciles de montar o de si.

Cuerpo de la válvula

De manera estándar, para los sistemas de suministro de disolventes se utilizan cuerpos forjados, ya que garantizan una rugosidad superficial mínima.

➥ La alternativa: PTFE reforzado con fibra de carbono

PTFE reforzado con fibra de carbono como alternativa conductora al acero inoxidable

En aplicaciones especialmente sensibles a los costes, también se utilizan componentes de PTFE y PTFA resistentes. Los plásticos como aislantes eléctricos pueden cargarse estáticamente por fricción y, por tanto, resultan inadecuados para el suministro de disolventes. Sin embargo, añadiendo negro de humo conductor (carbono) en el proceso de producción del fluoropolímero, se puede conseguir una conductividad específica. De este modo, las cargas generadas pueden disiparse de forma controlada, evitando así las descargas repentinas y las inflamaciones asociadas.

GEMÜ ofrece cuerpos de PTFE conductor, así como tubos y rosca de apriete de PFA reforzado con fibra de carbono. Por ejemplo, las válvulas de diafragma GEMÜ C60 y C67 o la válvula de globo de diafragma M-Block GEMÜ PC50 iComLine.