![GEMÜ CleanStar for use in DFS Fusion chemical blending systems GEMÜ CleanStar for use in DFS Fusion chemical blending systems](gemu-cdn2/anwendungsfaelle/bilder/144/490x215px_foto_anw_fl_dfs_fusion_chemical_blending.jpg)
Puolijohdevalmistuksessa kemikaaleja käytetään lähes kaikissa prosesseissa, etenkin puhdistuksessa, pinnoituksessa ja etsauksessa. Niissä käytettävät syövyttävät, puhdistetut kemikaalit asettavat tiukat vaatimukset laitteiston ja sen komponenttien puhtaudelle ja kestävyydelle. Sen vuoksi kemikaalisekoitus- ja syöttöjärjestelmille suositellaan erityisesti kalvoventtiilejä, jotka on valmistettu korkealaatuisista fluoropolymeerimuoveista. DFS Fusion -kemikaalisekoitusjärjestelmää koskevasta esimerkistä löytyy lisätietoa GEMÜn tuotteista ja ratkaisuista, jotka sopivat optimaalisesti puolijohdetuotantoon.