Haponkestävästä teräksestä valmistetut komponentit puolijohdealan sovelluksiin

Haponkestävästä teräksestä valmistetut komponentit puolijohdealan sovelluksiin

 

Yhteydenotto Infoesite   

 

Haponkestävästä teräksestä valmistetut kalvoventtiilit – täydellinen valinta liuottimien syöttöön

Puolijohteiden valmistusprosessissa käytetään kriittisiä ja aggressiivisia liuotinaineita. Tämä asettaa tiukat vaatimukset laitteiston syöttökomponenttien kemialliselle kestävyydelle ja räjähdyssuojaukselle. GEMÜn haponkestävästä teräksestä valmistetut kalvoventtiilit soveltuvat parhaiten tällaisiin erittäin puhtaiden liuottimien sovelluksiin. Esittelemme tässä yrityksemme eri tuotetyypit.

 

Monimutkaisuus lisääntyy – tarjoamme aina tilanteeseen sopivan ratkaisun

GEMÜ on luotettava kehityskumppani, joka tarjoaa erilaisia osakokoonpanoihin liittyviä ratkaisuja. 

Tarjoamme runsaasti erilaisia vaihtoehtoja yksittäisistä komponenteista yksinkertaisiin hitsaus- ja puikkokonfiguraatioihin ja aina monimutkaisiin alarakenneryhmiin ja jakeluputkistoihin saakka. 

Tarjoamme yrityksesi käyttötarkoituksiin sopivan venttiilitekniikan! 

 

Pyydä konsultaatiota

Haponkestävästä teräksestä valmistetut komponentit kemikaalien ja puolijohdekiekkojen valmistuksessa seuraaville aineille:

• H2SO4 

• TMAH

• H3PO4 

Haponkestävästä teräksestä valmistetut komponentit liuottimien syöttösovelluksiin seuraaville aineille:

• Isopropanoli

• Aceton

• 1-metyyli-2-pyrrolidoni (NMP)

Haponkestävästä teräksestä valmistetut komponentit prosessitasolla seuraaville:

• Litografia (fotoresisti)

➥ Haponkestävästä teräksestä valmistettujen komponenttien edut liuottimien syötössä

Hyvä johtavuus

Käytettyjen liuottimien leimahduspiste on alhainen, ja ne varautuvat putkissa sähköstaattisesti erittäin helposti. Sen vuoksi liuottimien syöttölaitteistot on valmistettava johtavista materiaaleista ja maadoitettava. Haponkestävän teräksen johtavuus on erityisen hyvä. 

Erinomainen pintalaatu

Käytettävien laitteistokomponenttien pinnankarheus vaikuttaa siihen, miten voimakkaasti virtaava väliaine varautuu. Vuodesta 2018 GEMÜllä on ollut käytössään erityinen pintakäsittelytekniikkakeskus , ja yritys kehittää jatkuvasti osaamistaan tällä alalla. Liuottimien syöttöön suositellaan karheusarvoja Ra 0,25–0,8 sähköstaattisen varautumisen välttämiseksi. Lisäksi korkea pintalaatu takaa paremman puhdistettavuuden.

 

Erinomainen kestävyys

Haponkestävän teräksen etuna on, että se on erittäin kestävä materiaali. Se mahdollistaa myös aggressiivisten väliaineiden käytön ilman riskiä liuotinaineen likaantumisesta tai venttiilivuodoista. Yrityksemme haponkestävästä teräksestä valmistetut venttiilit kestävät kaikkia yleisiä liuottimia, joista esimerkkeinä:

• 2-propanoli 99,8 %

• Etyylilaktaatti
• Asetoni
• 1-metyyli-2-pyrrolidoni (NMP)
• AZ400T
• NBA
• PGMEA

 

➥ Venttiilinrungot ja liitäntätyypit

Erityiset liitäntätyypit

Hitsausyhteet ja VCR-liitännät ovat haponkestävästä teräksestä valmistettujen komponenttien vakioliitoksia. Käytettävissä on erilaisia liitäntöjä siitä riippuen, tuleeko venttiilikomponenttien olla helposti asennettavia vai voidaanko ne hitsata.

 

Venttiilinrungot

Takovalurunkoja käytetään liuottimien syöttöjärjestelmien vakiorunkoina minimaalisen pinnankarheuden varmistamiseksi.

 

➥ Vaihtoehto: hiilikuituvahvisteinen PTFE

Hiilikuituvahvisteinen PTFE johtavana vaihtoehtona haponkestävälle teräkselle

Etenkin kustannusherkillä aloilla käytetään myös kestävästä PTFE:stä ja PTFA:sta valmistettuja komponentteja. Kitka saattaa aiheuttaa sähköeristiminä toimivien muovien staattista varautumista, minkä vuoksi ne eivät sovellu kovinkaan hyvin liuottimien syöttösovelluksiin. Lisäämällä kimröökiä (hiili) fluoropolymeerin tuotantoprosessiin voidaan kuitenkin saavuttaa oikea johtavuus. Syntyvät varaukset voidaan siten johtaa hallitusti pois, jolloin saadaan estettyä äkilliset purkaukset ja siihen liittyvät syttymiset.

GEMÜ tarjoaa johtavasta PTFE:stä valmistettuja runkoja sekä hiilikuituvahvisteisesta PFA:sta valmistettuja letkuja ja hattumuttereita. Esimerkkeinä kalvoventtiilit GEMÜ C60 ja C67 tai M-lohko-kalvoistukkaventtiili GEMÜ PC50 iComLine. 

 

GEMÜn haponkestävästä teräksestä ja muovista valmistetut komponentit

Manuaalisesti käytettävät venttiilit 

Pneumaattisesti käytettävät venttiilit 

Muoviventtiilit

Infoesite: Haponkestävästä teräksestä valmistetut komponentit puolijohdealan liuotinsovelluksiin

pdf695 KB

 

Ota meihin yhteyttä!

Onko sinulla jotain kysyttävää tuotteistamme?

Autamme mielellämme.

Yhteydenotto