GEMÜ C53 iComLine

La vanne à clapet à membrane 2/2 voies GEMÜ C53 iComLine a été conçue pour les applications de régulation précises et complexes nécessaires à la fabrication des semi-conducteurs. Le principe d'étanchéité de la vanne repose sur la technologie PD (Plug Design) éprouvée de GEMÜ, c'est-à-dire que l'actionneur et le fluide sont séparés au moyen d'un clapet de régulation en PTFE. Le contour du cône de régulation, la course de l'actionneur et les tailles de raccord peuvent être adaptés aux besoins spécifiques du client. De ce fait, la GEMÜ C53 iComLine répond à la quasi-totalité des exigences de l'industrie des semi-conducteurs en matière de régulation et de débit. Associé aux matériaux de corps ultra-purs, le moteur pas à pas précis est particulièrement adapté aux processus de lithographie, de polissage et de gravure tout comme pour les applications analytique de la fabrication de semi-conducteurs.

• Vanne de régulation pour applications ultra-pures dans l'industrie des semi-conducteurs
• Actionneur linéaire haute résolution avec moteur pas à pas
• Vanne à clapet à membrane reposant sur la série iComLine
• Technologie éprouvée à membrane conique
• Toutes les pièces en contact avec le fluide sont en PFA ou en PTFE
• 1 million de cycles de commutation de régulation caractéristiques
• Production en salle blanche (version HP), conforme à SEMI F 57

• Température du fluide:10 à 150 °C
• Température ambiante:à 40 °C
• Pression de service :à 6 bars
• Tailles du raccord:1/4'' à 3/4''
• Formes de corps :Corps à passage en ligne
• Types de raccordement :Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
• Matériaux du corps:PFA | PTFE
• Matériau d'étanchéité:PTFE
• Tension d'alimentation :24 V DC
• Signaux d'entrée:0 - 10 V | 4 - 20 mA
• Vitesse de positionnement :max. 2 mm/s
• Indice de protection :IP65