![GEMÜ CleanStar for use in DFS Fusion chemical blending systems GEMÜ CleanStar for use in DFS Fusion chemical blending systems](gemu-cdn2/anwendungsfaelle/bilder/144/490x215px_foto_anw_fl_dfs_fusion_chemical_blending.jpg)
半導体製造においては,化学薬品はほとんどすべての工程,特に洗浄,コーティングおよびエッチングにおいて使用されます。これらの工程で使用される腐食性の高い超高純度の化学薬品は,システムとそのコンポーネントの純度との耐薬品性の点で,厳しい要件が設定されています。そのため化学薬品の混合システムおよび供給システムには,高品質フッ素樹脂製ダイアフラムバルブを強く推奨します。半導体製造に最適な GEMÜ の製品とソリューションの詳細については,一例として DFS Fusion 化学薬品混合システムをご覧ください。