GEMÜ C53 iComLine

De 2/2-weg membraan-zittingafsluiter GEMÜ C53 iComLine werd ontwikkeld voor precieze en veeleisende regeltoepassingen in de halfgeleiderproductie. Het afdichtingsprincipe van de afsluiter berust op de beproefde GEMÜ PD-technologie waarbij de aandrijving en het medium door een PTFE-regelkegel gescheiden worden. Omdat regelkegelcontour, aandrijfslag en aansluitgroottes volgens specifieke wensen van de klant aangepast kunnen worden, voldoet GEMÜ C53 iComLine aan vrijwel alle regel- en doorstromingseisen van de technologisch hoogontwikkelde halfgeleiderindustrie. Door de combinatie van de precieze stappenmotor met ultrareine behuizingsmaterialen is de afsluiter met name geschikt voor lithografie-, CMP- en etsprocessen alsmede voor toepassingen op analytisch gebied in elke halfgeleiderproductie.

• Regelafsluiter voor ultrareine toepassingen in de halfgeleiderindustrie
• Lineaire aandrijving met hoge resolutie met stappenmotor
• Membraanzittingafsluiter op basis van de iComLine-serie
• Beproefde plug-diaphragm-technologie
• Alle onderdelen die met medium in contact komen zijn van PFA of PTFE
• 1 miljoen gekwalificeerde regelschakelcycli
• Cleanroomproductie (HP versie), voldoet aan SEMI F 57

• Mediumtemperatuur:10 tot 150 °C
• Omgevingstemperatuur:0 tot 40 °C
• Bedrijfsdruk:0 tot 6 bar
• Aansluitgroottes1/4'' tot 3/4''
• Behuizingsvormen:Doorgangsafsluiter
• Aansluitmethoden:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
• Behuizingsmaterialen:PFA | PTFE
• Afdichtmateriaal:PTFE
• Voedingsspanning:24 V DC
• Ingangssignalen0 - 10 V | 4 - 20 mA
• Regelsnelheid:max. 2 mm/s
• Beschermklasse:IP65