A válvula globo de diafragma de 2/2 vias GEMÜ C53 iComLine foi projetada para aplicações precisas e exigentes de posicionamento na produção de semicondutores. O princípio de vedação da válvula baseia na tecnologia de diafragma obturador testada GEMÜ, no que o atuador e o fluido são isolados por meio dum opturador regulador de PTFE. O contorno do cone regulador, o curso do atuador e os tamanhos de conexão podem ser customizados, e assim, a GEMÜ C53 iComLine cumpre praticamente todos os requisitos de vazão da indústria de alta tecnologia de semicondutores. Com a combinação do motor de passo muito preciso com material do corpo de ultra pureza, a válvula é especialmente adequada para processos de litografia, CMP (polimento químico-mecânico) e processos de corrosão, e para aplicações na área analítica numa fabricação de semicondutores.
- Válvula de controle para aplicações sanitário-higiênicos na indústria de semicondutores
- Atuador linear de alta resolução com motor de passo
- Válvula globo de diafragma a base da série iComLine
- Tecnologia Plug-Diaphragm testada
- Todas as partes em contato com o fluido são de PFA ou PTFE
- 1 milhão de ciclos de acionamento qualificados
- Produção em sala limpa (versão HP), cumpre SEMI F 57
- Temperatura do fluido:10 até 150 °C
- Temperatura ambiente:0 até 40 °C
- Pressão de operação:0 até 6 bar
- Tamanhos de conexão1/4'' até 3/4''
- Formas do corpo:Corpo de duas vias
- Tipos de conexões:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
- Materiais do corpo da válvula:PFA | PTFE
- Material da vedação:PTFE
- Tensão de alimentação:24 VDC
- Sinais de entrada0 - 10 V | 4 - 20 mA
- Velocidade de posicionamento:máx. 2 mm/s
- Classe de proteção:IP65
Válvulas de blocos multivias |