Komponenter av rostfritt stål för användning inom halvledarområdet

Komponenter av rostfritt stål för användning inom halvledarområdet

 

Kontakt Informationsblad   

 

Membranventiler av rostfritt stål – ett perfekt val för lösningsmedelsförsörjning

Vid tillverkningen av halvledarprodukter används kritiska och aggressiva lösningsmedel. Det ställer höga krav på den kemiska beständigheten och explosionsskyddet hos anläggningens försörjningskomponenter. GEMÜ-membranventiler av rostfritt stål passar perfekt för dessa lösningsmedelstillämpningar med hög renhetsgrad. Här presenterar vi våra olika produkttyper.

 

Vi har lösningen när komplexiteten ökar

GEMÜ är din utvecklingspartner när det gäller underenheter. 

Vi erbjuder allt från enskilda komponenter och tillverkning av enkla svets- och stångkonfigurationer till komplexa underenheter och förgreningsrör. 

Vi hjälper dig gärna att hitta rätt ventilteknik för ditt användningsområde! 

 

Boka rådgivning

Komponenter av rostfritt stål inom kemin och wafertillverkningen för:

• H2SO4 

• TMAH

• H3PO4 

Komponenter av rostfritt stål inom lösningsmedelsförsörjning för:

• isopropanol

• aceton

• 1-metyl-2-pyrrolidon (NMP)

Komponenter av rostfritt stål inom processnivån för:

• litografi (fotoresist)

➥ Fördelarna med komponenter av rostfritt stål inom lösningsmedelsförsörjning

God konduktivitet

De använda lösningsmedlen har en låg antändningstemperatur och blir lätt elektrostatiskt laddade i rörledningar. Det innebär att system för lösningsmedelsförsörjning måste konstrueras med antistatiska material och jordas. Rostfritt stål har extra god konduktivitet. 

Hög ytfinhet

Ytjämnheten hos de använda anläggningskomponenterna påverkar hur kraftigt det flytande mediet laddas upp. Gemü har sedan 2018 ett centrum för ytteknik och utvecklar löpande kompetensen inom detta område. För lösningsmedelsförsörjning rekommenderas en ytjämnhet på Ra 0,25 till Ra 0,8 för att undvika elektrostatisk laddning. En hög ytfinhet gör även ytan lättare att rengöra.

Hög beständighet

Rostfritt stål är ett material som har den fördelen att det är mycket beständigt. Det gör att även mycket aggressiva medier kan användas utan att lösningsmedlet förorenas eller ventilen blir otät. Våra ventiler av rostfritt stål är beständiga mot alla vanliga lösningsmedel, till exempel:

• isopropanol 99,8 %

• etyllaktat

• aceton

• NMP

• AZ400T

 

➥ Ventilhus och anslutningstyper

Särskild anslutning 

Svetsstutsar och VCR-anslutningar är standardanslutningar för komponenter av rostfritt stål.  Olika anslutningar används beroende på om ventilkomponenterna måste vara lätta att montera eller kan svetsas fast.

 

 

Ventilhus

Smidda ventilhus är standardhus för system för lösningsmedelsförsörjning för att garantera en minsta ytjämnhet.

 

➥ Ett alternativ: kolfiberförstärkt PTFE

Kolfiberförstärkt PTFE som ledande alternativ till rostfritt stål

Inom områden som är extra kostnadskänsliga används även komponenter av beständig PTFE och PTFA. Plaster som elektriska isolatorer kan laddas upp statiskt och är därför mindre lämpliga för lösningsmedelsförsörjning. Genom att tillsätta ledande sot (kol) i produktionsprocessen för fluorpolymeren kan man däremot uppnå en specifik konduktivitet. På så sätt kan laddningarna som uppstår ledas bort på ett kontrollerat sätt så att plötsliga urladdningar med antändning som följd kan förhindras.

GEMÜ erbjuder ventilhus av ledande PTFE och även slangar och överfallsmuttrar av kolfiberförstärkt PFA. Några exempel är membranventilerna GEMÜ C60 och C67 och 

M-Block-membransätesventilen GEMÜ PC50 iComLine. 

 

GEMÜ-komponenter av rostfritt stål och plast

Ventiler med manuell manövrering 

Ventiler med pneumatisk manövrering 

Plastventiler

Informationsblad Komponenter av rostfritt stål för lösningsmedelstillämpningar inom halvledarområdet

pdf695 KB

 

Kontakta oss!

Har du frågor om våra produkter?

Vi hjälper dig gärna.

Kontakt